Dimension-Labs提供的主动隔振系统，克服了被动隔振平台的共振频率附近频率无法消除的问题。通过配备高灵敏度的传感器和执行器，提供大小相等、方向相反的力，抵消振动对目标的影响，极大降低了振动传递率，为基础研究、应用研究、生产等所用精密仪器创造稳定测量环境。可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。

DL-AVIS系列主动隔振系统平台示意图

 

产品优势

1.DL-AVIS系统配备精密的传感器和执行器，结合先进的控制算法，可隔离低频振动；

2.DL-AVIS系列在1.0Hz~200Hz宽范围内控制振动，通过控制宽频率，它可以提供理想的主动隔振性能；

3.主动内部振动消除系统，可消除6个自由度方向的可控振源，为进行纳米测量提供有效的解决方案；

4.隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等；

5.操作简单，LED灯实时显示载荷状态，示波器实时显示隔振系统是否正常运作。

 

产品应用

1.各种干涉仪、扫描电子显微镜；

2.非接触式三维表面轮廓仪；

3.显微硬度测量设备；

4.其它高分辨率测量设备；

 

根据需求提供定制方案

DL-AVIS系列主动隔振系统，性能优越，可根据不同需求提供专属定制方案，满足不同应用场景下的高隔振要求，提高实验结果的准确性。

被动隔振平台在低频段难以隔离振动，为改善其隔振性能，主动隔振平台安装振动传感器和驱动器，以此有效控制振动。

 

主动隔振系统从隔振平台上板处开始测试振动，由驱动器推力的反馈控制，以及从隔振平台地面处开始测试振动并以此来控制驱动器推力的前馈控制组成。使用这一控制系统，不仅能够大幅改善被动隔振平台的动特性，还能有效改善低频段隔振性能，并且不会出现共振。

主动隔振原理示意图

 

     

 

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